PRODUCTS製品紹介
自動整合器
- 整合器
仕様
| 周波数 | 400kHz/2MHz/4MHz/13.56MHz/27.12MHz |
|---|---|
| 定格入力 | 500W/1kW/2kW/3kW |
当社では、高周波電源とプラズマ装置間のインピーダンスを整合し、効率的に電力をプラズマ負荷へ供給するための自動整合器を設計・製造しております。
また、実験や検証用途に適した廉価版の手動整合器のご提案も可能です。用途やご予算に応じて最適なソリューションをご提供いたします。
さらに、アステック社製マッチングボックス(Tシリーズ:TH-10R、TL10Rなど/ATL-100RA)の修理も承っておりますのでお気軽にご相談ください。
※部品の製造終了により、修理対応ができない場合がございます。あらかじめご了承ください。





