自動整合器_BH-5R
自動整合器_ATL-100
自動整合器_BL-30
自動整合器_BH-20UR
自動整合器_BL-10R
高周波電源とプラズマ装置のインピーダンスを整合し、電力をプラズマ負荷に投入するための自動整合器を設計、製造しております。実験・検証などを目的とした廉価版の手動整合器のご提案もしております。