PRODUCTS製品紹介

自動整合器

  • 整合器

仕様

周波数 100kHz/300kHz/1MHz/2MHz/3MHz
定格入力 500W/1kW/2kW/3kW

高周波電源とプラズマ装置のインピーダンスを整合し、電力をプラズマ負荷に投入するための自動整合器を設計、製造しております。
実験・検証などを目的とした廉価版の手動整合器のご提案もしております。