PRODUCTS製品紹介
VL 可変コイル(可変インダクタ)
- コイル
線材:平角銅、銅パイプ
プラズマ装置や送信機などのインピーダンス整合回路に最適な電力用可変コイルです。
インダクタンス・外形寸法は、ご希望の仕様にて製作いたします。
VL2S 小型可変コイル
- コイル
線材を平角銅から錫メッキ線に変更することで可変コイルの小型化に成功しました。
耐電流を維持したまま更なる小型化にも挑戦しております。
FL 固定コイル
- コイル
線材:平角銅、銅パイプ、銅線
通常銅パイプを使用して製作するコイルを銅帯で製造することで省スペース化が図れます。専用のクリップ(オプション品)でインダクタンスの調整も可能です。
VL-R 可変コイル(可変インダクタ)
- コイル
線材:リッツ線
表皮効果による損失を改善した中波帯向け可変コイルです。
VC エアバリコン
- バリコン(可変コンデンサ)
プラズマ装置や送信機などのインピーダンス整合回路に最適な電力用可変コンデンサです。
容量値・耐圧・外形寸法は、ご希望の仕様にて製作いたします。
VCP ポリバリコン
- バリコン(可変コンデンサ)
ポリフイルムの挿入により、高耐圧・高容量を小型化できます。
最低容量は、最大容量値により決まります。
オプション各種
- バリコン(可変コンデンサ)
モーターギヤ装置により、バリコン・可変コイルの自動制御駆動が可能です。
自動整合器
- 整合器
高周波電源とプラズマ装置のインピーダンスを整合し、電力をプラズマ負荷に投入するための自動整合器を設計、製造しております。
実験・検証などを目的とした廉価版の手動整合器のご提案もしております。
静電チャックフィルタ/RFフィルタ
- 整合器
当社では、静電チャック用フィルタ/RFフィルタの設計・製造を行っております。ご希望の周波数や仕様に応じたカスタム設計も可能ですので、用途や条件に合わせたご提案をいたします。詳細につきましては、お気軽にお問い合せください。
手動整合器
- 整合器
インピーダンス変化の少ない負荷で実験・検証などを目的とした廉価版の整合器です。
フェーズシフタ
・位相シフター
- 整合器
プラズマ装置で複数の電源を使用する場合、各出力の位相を制御することで安定した処理結果を得ることができます。
ユニット
- システム機器
システム機器の設計・製造を、短納期・少量生産に対応いたします。
制御機器
- システム機器
各種のシーケンス制御機器を始め、ご要望に合わせた回路・基板の設計から製作・検査まで対応致します。
整合盤
- システム機器
ユニットのキャビネットへの実装・組込・アッセンブリなどを含め、総合システムの設計・製作が可能です。
ST サンダーストッパー
- 耐雷製品
サンダーストッパーは、電源ラインの雷サージから機器を保護します。
定格電圧:単相/三相 100V~200Vに対応しています。
SR カーボンギャップ
- 耐雷製品
通信・信号ラインの雷サージ対策用放電装置です。
放電開始電圧は自由に調整が可能です。(1kV~10kV)
標準放電開始電圧(製品出荷時):3kV
