高周波電源とプラズマ装置のインピーダンスを整合し、電力をプラズマ負荷に投入するための自動整合器を設計、製造しております。
実験・検証などを目的とした廉価版の手動整合器のご提案もしております。

当社では、静電チャック用フィルタ／RFフィルタの設計・製造を行っております。ご希望の周波数や仕様に応じたカスタム設計も可能ですので、用途や条件に合わせたご提案をいたします。詳細につきましては、お気軽にお問い合せください。

インピーダンス変化の少ない負荷で実験・検証などを目的とした廉価版の整合器です。

プラズマ装置で複数の電源を使用する場合、各出力の位相を制御することで安定した処理結果を得ることができます。